ICP光譜分析儀可用于鋼鐵及其合金的分析，包括碳素鋼、鑄鐵、合金鋼、高純鐵、鐵合金等；有色金屬及其合金的分析，包括有色金屬及其合金、稀有金屬及其合金、貴金屬、稀土元素及其化合物；水質樣品的分析，包括飲用水、地表水、礦泉水、高純水及廢水等；環境樣品的分析，包括固體廢物、土壤、粉煤灰、大氣飄塵等。
ICP光譜分析儀的維護方法簡介：
1.良好使用環境
等離子體光譜與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環境下運行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。
2.對氣體控制系統的保養
ICP的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。
3.對進樣系統及炬管的維護
霧化器是進樣系統中精密，關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩定，也影響反射功率。因此，要定期用酸洗、水洗，后用無水乙醇洗并吹干，經常保持進樣系統及炬管的清潔。
4.使用中盡量減少開停機次數
開機測定前，必須做好安排，事先標好各項準備工作，切忌在同一段時間里開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開機就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關停機。
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